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스핀코팅기(Spin Coater)
기계&전자기 제품그룹
담당 : Nanobiomaterials
대여금액 : 8,000원/시간
제조사 : POLOS
모델명 : Spin150i-NPP
바우처 지원여부 : 사용가능
원리 및 특징
- 기판 또는 웨이퍼에 코팅할 물질을 액상으로 떨어뜨린 후 고속으로
회전시켜 원하는 두께의 균일한 박막을 코팅하는 장비
- 일반적으로 스핀 코팅을 하는 경우 원심력에 의해 Edge bead가
생성되나 본 장비는 스프레이 노즐이 장착되어 EBR(Edge bead
removal)이 가능
주요 사양
1.회전 속도: 0 . 12,000 rpm (± 1 rpm/sec)
2.회전 방향: 시계/반시계 방향
3.최대 가속: 30,000 rpm (1 rpm 단위로 제어)
4.재질: Natural polypropylene (NPP)
5.최대 기판 직경: 260 mm (원형) 또는 6" x 6" (사각형)
활용 분야
- MEMS 공정에 사용하여 마이크로 구조체 제작, 미세유체채널 제작
등에 활용
- 반도체, 센서공학, 전자물리학, 전기공학, 기계공학, 에너지변환
특성실험, 스마트그리드 관련 전기 분야, 광통신 소자, 부품 제작
분야에 널리 이용 가능
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