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초정밀 3차원 부품 제작 시스템(Ultra-precise 3D Component Manufacturing System)

기계&전자기 제품그룹

담당 : Nanobiomaterials

대여금액 : 259,000원 / 시간

제조사 : Nanoscribe

모델명 : Photonic Professional GT

바우처 지원여부 : 사용가능

원리 및 특징

- 레이저 광원의 간섭효과를 이용하여 넓은 영역에 3D 마이크로 구조
물을 패터닝 함
- 액체상태의 photoresist를 레이저를 이용하여 고형화시키는 원리

주요 사양

1. Femtosecond fiber laser pulse length (120 fs Average
Power) 120mW
2. 출력크기 10 x 10 x 10mm 이내
3. x-y해상도: <0.5μm, z해상도: <1μm

활용 분야

마이크로 사이즈의 부품이 필요한 전 분야
- 미세광학
- Maskless lithography
- 바이오칩
- Rapid prototyping 등