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| 원리 및 특징 | ||||||||
| 고성능 레이저를 이용한 2차원 마이크로 가공 시스템으로, 마이크로
드릴링 및 복잡한 패턴의 미세표면 가공 등에 활용됨 |
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| 주요 사양 | ||||||||
| 1. 레이저 파장: 1067 nm, 532 nm, 355 nm 또는 266 nm
2. XYZ축 이송: 152.4 x 152.4 x 152.4 mm 3. 위치 정밀도: 1<μm 4. High quality microscope, High resolution video camera |
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| 활용 분야 | ||||||||
| - 정밀 마이크로 로봇 및 테스트 베드 제작
- 마이크로로봇 body, 로봇 표면 가공, 평면형 마이크로 구조체 가공 |
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